Este documento abarca desde la importancia y urgencia de promover el desarrollo de la industria de CI hasta la tecnología clave para controlar la contaminación ambiental superficial de las obleas de IC (SECC). Recientemente, IRDS 2020 presentó claramente la clave para mejorar el rendimiento, señalando que la contaminación molecular en el aire (AMC) es un factor importante que causa defectos aleatorios en las obleas, y este efecto se agravará con la disminución del ancho de línea de las obleas. En este documento, se enumeran los requisitos tecnológicos para el control de la contaminación ambiental superficial de 2021 a 2027 según la concentración de control permisible de diferentes contaminantes del aire en cada proceso de producción, expresada en ppTV. Debido al estricto estándar de control, se requiere que el diseño del sistema de ventilación para el control de la contaminación química en salas blancas y entornos controlados asociados, la selección del filtro químico de aire, la configuración y los requisitos de rendimiento. Debe llevarse a cabo estrictamente de acuerdo con el estándar. Además, los indicadores de rendimiento del filtro químico de aire, el banco de pruebas del filtro y el procedimiento de prueba en Se presenta la norma ASHRAE 145.2-2016 y otros contenidos.

¿O podríamos cumplir los sueños de limpieza? toallitas para salas blancas ?Creo que la respuesta es SI.